精密位移测量

数码仪器的高性能化导致部件的微细化在日新月异的进步，现在生产现场已经进入了需求高精度的时代。在半导体，液晶，硬盘的制造装置或者是检测装置的1nm精确计测定为领域，高稳定性，高分辨率的静电容量式感应器在生产现场得到广泛使用。同时针对要求精度更高的研究开发市场，光纤位移仪器实现了0.04nm的高感度测定。